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Reoxidation법을 이용한 Si 웨이퍼상의 hole trap의 제거

제목
Reoxidation법을 이용한 Si 웨이퍼상의 hole trap의 제거
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
전자공학회 하계종합학술대회
학회 개최일
1987-01-10 ~ 1987-01-10

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