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단일전구체를 이용한 SiC 박막의 성장과 특성평가

제목
단일전구체를 이용한 SiC 박막의 성장과 특성평가
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2004년도 한국재료학회 추계학술발표대회
개최지
인하대학교
학회 개최일
2004-11-05 ~ 2004-11-05

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