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활성화 이온 (N2+) 빔 (Reactive Ion Beam)처리한 사파이어 기판에 성장시킨 GaN 박막의 격자 결함 및 변형량 관찰

제목
활성화 이온 (N2+) 빔 (Reactive Ion Beam)처리한 사파이어 기판에 성장시킨 GaN 박막의 격자 결함 및 변형량 관찰
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
제 30차 한국전자현미경학회 춘계학술대회
개최지
고려대학교 의과대학
학회 개최일
1999-05-28 ~ 1999-05-29

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