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Sub-wavelength Proximity Nanolithography using Plasmonic Lens
- 제목
- Sub-wavelength Proximity Nanolithography using Plasmonic Lens
- 저자
- Seo, Sungkyu
- 학회명
- The 51th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabricati
- 개최국가
- 미국
- 학회 개최일
- 2007-05-29 ~ 2007-06-01