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CeO2 완충층을 이용한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 정지 특성

  • CHOI, In-Hoon
제목
CeO2 완충층을 이용한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 정지 특성
저자
CHOI, In-Hoon
발행일
2005-05-01
학회명
한국재료학회

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