용융접합 및 2단계 전기화학적 식각정지를 이용한 실리콘 막의 제조

제목
용융접합 및 2단계 전기화학적 식각정지를 이용한 실리콘 막의 제조
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
전자공학회 하계종합학술대회
학회 개최일
1992-01-10 ~ 1992-01-10