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The Effect of Ultraviolet on the Passivation Properties of Thermal Atomic Layer Deposited Al2O3
The Effect of Ultraviolet on the Passivation Properties of Thermal Atomic Layer Deposited Al2O3
- 제목
- The Effect of Ultraviolet on the Passivation Properties of Thermal Atomic Layer Deposited Al2O3
- 제목 (타언어)
- The Effect of Ultraviolet on the Passivation Properties of Thermal Atomic Layer Deposited Al2O3
- 저자
- Kang Yoon Mook
- 발행일
- 2016-11-07
- 학회명
- ENGE 2016
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2016-11-06 ~ 2016-11-09