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ALD법으로 성장시킨 ZnO박막의 RTA처리에 따른 전기적 특성의 변화

제목
ALD법으로 성장시킨 ZnO박막의 RTA처리에 따른 전기적 특성의 변화
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2009년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제 16회 신소재 심포지엄
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-05-21 ~ 2009-05-22

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