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- 제목
- Fabrication method of 3D feed horn shape MEMS antenna array using MRPBI system and application for microbolometer
- 저자
- Pak, James Jungho
- 학회명
- SPIE's Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics II
- 개최지
- Adelaide, Australia
- 개최국가
- 오스트레일리아
- 학회 개최일
- 2001-12-01 ~ 2001-12-01