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표면 마이크로머시닝을 이용한 압전 박막 공진기 제작

제목
표면 마이크로머시닝을 이용한 압전 박막 공진기 제작
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
전기전자재료학회 하계학술대회
개최지
제주대
학회 개최일
2002-07-08 ~ 2002-07-10

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