단계적 SVM(Support Vector Machine)을 이용한 반도체 제조공정에서의 최종검사 공정 수율 예측 방법론

  • KIM SUNG SHICK
제목
단계적 SVM(Support Vector Machine)을 이용한 반도체 제조공정에서의 최종검사 공정 수율 예측 방법론
저자
KIM SUNG SHICK
학회명
2009 한국경영과학회/대한산업공학회 춘계공동학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-05-22 ~ 2009-05-23