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비냉각 적외선 센서 제작을 위한 스퍼터링 방법에 의한 PZT박막 형성 및 식각 특성 평가

  • PARK, JUNG HO
제목
비냉각 적외선 센서 제작을 위한 스퍼터링 방법에 의한 PZT박막 형성 및 식각 특성 평가
저자
PARK, JUNG HO
학회명
제10회 적외선 영상 센서 Conference
개최지
제10회 적외선 영상 센서 Conference
학회 개최일
1999-11-01

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