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2단 적층 구조의 정전구동형 마이크로 미러 개발 및 성능평가

  • Pak, James Jungho
제목
2단 적층 구조의 정전구동형 마이크로 미러 개발 및 성능평가
저자
Pak, James Jungho
학회명
제 8회 한국 MEMS 학술대회
학회 개최일
2006-04-06 ~ 2006-04-08

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