표면 아미크로머시닝 기술을 사용한 새로운 형태의 압전박막공진기

  • Soo-Won Kim
제목
표면 아미크로머시닝 기술을 사용한 새로운 형태의 압전박막공진기
저자
Soo-Won Kim
학회명
MEMS학회