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유기 금속 화학 증착 장비를 이용하여 Ga, Al 전구체와 챔버 유량률에 따른 AlGaN 에피성장 조사
유기 금속 화학 증착 장비를 이용하여 Ga, Al 전구체와 챔버 유량률에 따른 AlGaN 에피성장 조사
- 제목
- 유기 금속 화학 증착 장비를 이용하여 Ga, Al 전구체와 챔버 유량률에 따른 AlGaN 에피성장 조사
- 제목 (타언어)
- 유기 금속 화학 증착 장비를 이용하여 Ga, Al 전구체와 챔버 유량률에 따른 AlGaN 에피성장 조사
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2018-05-17
- 학회명
- 2018년도 한국재료학회 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2018-05-16 ~ 2018-05-18