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플라즈마 노출시간 변화에 따른 SiNx 막의 패시베이션 및 광학적 특성
플라즈마 노출시간 변화에 따른 SiNx 막의 패시베이션 및 광학적 특성
- 제목
- 플라즈마 노출시간 변화에 따른 SiNx 막의 패시베이션 및 광학적 특성
- 제목 (타언어)
- 플라즈마 노출시간 변화에 따른 SiNx 막의 패시베이션 및 광학적 특성
- 저자
- Kang Yoon Mook
- 발행일
- 2017-05-18
- 학회명
- 한국재료학회 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2017-05-17 ~ 2017-05-19