Development of Light Induced Degradation Free Nano Crystal Embedded Amorphous Silicon Thin Film by Neutral Beam Assisted CVD Process at Room Temperature

제목
Development of Light Induced Degradation Free Nano Crystal Embedded Amorphous Silicon Thin Film by Neutral Beam Assisted CVD Process at Room Temperature
저자
Hong MunPyo
발행일
2012-02-16
학회명
제19회 한국반도체학술대회
개최지
고려대학교 자연캠퍼스
개최국가
대한민국
학회 개최일
2012-02-15 ~ 2012-02-17