Flexure 기구를 채용한 초정밀 스테이지의 설계

  • Woo Chun Choi
제목
Flexure 기구를 채용한 초정밀 스테이지의 설계
저자
Woo Chun Choi
학회명
2006 한국정밀공학회 추계학술대회
개최지
제주
학회 개최일
2006-10-19 ~ 2006-10-21