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Flexure 기구를 채용한 초정밀 스테이지의 설계
Woo Chun Choi
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제목
Flexure 기구를 채용한 초정밀 스테이지의 설계
저자
Woo Chun Choi
학회명
2006 한국정밀공학회 추계학술대회
개최지
제주
학회 개최일
2006-10-19 ~ 2006-10-21
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