ScholarWorks@고려대학교

상세 보기

역 임프린팅을 이용한 sub-100nm급 Hydrogen Silsequioxane 패턴 형성에 대한 연구

제목
역 임프린팅을 이용한 sub-100nm급 Hydrogen Silsequioxane 패턴 형성에 대한 연구
저자
Lee, Heon
학회명
정밀공학회
학회 개최일
2007-11-06 ~ 2007-11-09

ScholarWorks@고려대학교

02841 서울특별시 성북구 안암로 145 Tel. 02-3290-2963

COPYRIGHT © 고려대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.