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STI-CMP공정에서 표면특성에 미치는 패턴구조 및 슬러리 종류의 효과

  • Lim, Dae-Soon
제목
STI-CMP공정에서 표면특성에 미치는 패턴구조 및 슬러리 종류의 효과
저자
Lim, Dae-Soon
학회명
제 35회 윤활학회 춘계학술대회
개최지
제 35회 윤활학회 춘계학술대회
학회 개최일
2002-05-17

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