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Random textured 단결정 웨이퍼 및 RIE 다결정 웨이퍼의 전면절연층 패시베이션 효과 비교
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- 제목
- Random textured 단결정 웨이퍼 및 RIE 다결정 웨이퍼의 전면절연층 패시베이션 효과 비교
- 제목 (타언어)
- Random textured 단결정 웨이퍼 및 RIE 다결정 웨이퍼의 전면절연층 패시베이션 효과 비교
- 저자
- Kang Yoon Mook
- 발행일
- 2019-05-16
- 학회명
- 한국재료학회 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2019-05-15 ~ 2019-05-17