Pt를 mask로 이용한 n-type 다공질 실리콘 형성과 응용

  • Min Nam Ki
제목
Pt를 mask로 이용한 n-type 다공질 실리콘 형성과 응용
저자
Min Nam Ki
학회명
대한전기학회하계학술대회논문집 C
개최지
대한전기학회하계학술대회논문집 C
학회 개최일
2000-07-17