high frequency and high power PECVD를 이용한 thin film solar cell용 microcrystalline Si증착

제목
high frequency and high power PECVD를 이용한 thin film solar cell용 microcrystalline Si증착
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2009년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제 16회 신소재 심포지엄
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-05-21 ~ 2010-05-22