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high frequency and high power PECVD를 이용한 thin film solar cell용 microcrystalline Si증착
- 제목
- high frequency and high power PECVD를 이용한 thin film solar cell용 microcrystalline Si증착
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 학회명
- 2009년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제 16회 신소재 심포지엄
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2009-05-21 ~ 2010-05-22