정전 열 접합된 유리-Si-유리/유리-유리 구조물을 이용한 전계 방출 소자의 진공 패키징

제목
정전 열 접합된 유리-Si-유리/유리-유리 구조물을 이용한 전계 방출 소자의 진공 패키징
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
전기학회 MEMS 학술대회
학회 개최일
1998-04-11 ~ 1998-04-11