Design and batch-fabrication of diamond thermocouple probes for the quantitative thermopower porfiling of silicon IC devices

  • Lim, Dae-Soon
제목
Design and batch-fabrication of diamond thermocouple probes for the quantitative thermopower porfiling of silicon IC devices
저자
Lim, Dae-Soon
발행일
2010-08-12
학회명
International Heat Transfer Conference-14
개최지
미국 워싱턴
개최국가
미국
학회 개최일
2010-08-08 ~ 2010-08-13