상세 보기
- 제목
- Design of nano-device using highly stable insulator film
- 제목 (타언어)
- Design of nano-device using highly stable insulator film
- 저자
- PARK, JUNG HO
- 발행일
- 2012-04-06
- 학회명
- Proceedings of the 14th Korean MEMS Conference
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2012-04-05 ~ 2012-04-07