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UBM Sputtering에 의해 증착된 Boron Nitride막의 미세구조와 압축을력의 변화

  • Lim, Dae-Soon
제목
UBM Sputtering에 의해 증착된 Boron Nitride막의 미세구조와 압축을력의 변화
저자
Lim, Dae-Soon
학회명
한국진공학회
학회 개최일
2004-09-24 ~ 2004-09-25

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