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비정질 탄소박막의 광발열 특성 연구
Photothermal characteristics of amorphous carbon thin films
- 오현곤;
- 조경아;
- 김상식
초록
본 연구에서는 실리콘 기판 위에 DC 스퍼터링 방법을 이용하여 비정질 탄소박막을 제작하고, 흡광특성과 광발열 특성을 조사하였다. 비정질 탄소박막은 1000 nm 파장에서 97%의 흡광도를 보였으며, 백색광이 조사됨에 따라 비정질 탄소박막의 온도는 21.1 oC에서 24.1 oC로 상승하여 약 3 oC의 온도가 증가하였다. 또한, 백색광이 50초 동안 조사되는 동안 비정질 탄소박막에서는 기판에 비해 4배 빠른 온도상승속도로 온도가 증가하였다.
키워드
solar thermal energy; amorphous carbon; photothermal; Infrared absorption; sputtering method
- 제목
- 비정질 탄소박막의 광발열 특성 연구
- 제목 (타언어)
- Photothermal characteristics of amorphous carbon thin films
- 저자
- 오현곤; 조경아; 김상식
- 발행일
- 2018
- 저널명
- 전기전자학회논문지
- 권
- 22
- 호
- 1
- 페이지
- 213 ~ 215