비정질 탄소박막의 광발열 특성 연구

Photothermal characteristics of amorphous carbon thin films

초록

본 연구에서는 실리콘 기판 위에 DC 스퍼터링 방법을 이용하여 비정질 탄소박막을 제작하고, 흡광특성과 광발열 특성을 조사하였다. 비정질 탄소박막은 1000 nm 파장에서 97%의 흡광도를 보였으며, 백색광이 조사됨에 따라 비정질 탄소박막의 온도는 21.1 oC에서 24.1 oC로 상승하여 약 3 oC의 온도가 증가하였다. 또한, 백색광이 50초 동안 조사되는 동안 비정질 탄소박막에서는 기판에 비해 4배 빠른 온도상승속도로 온도가 증가하였다.

키워드

solar thermal energyamorphous carbonphotothermalInfrared absorptionsputtering method
제목
비정질 탄소박막의 광발열 특성 연구
제목 (타언어)
Photothermal characteristics of amorphous carbon thin films
저자
오현곤조경아김상식
DOI
10.7471/ikeee.2018.22.1.213
발행일
2018
저널명
전기전자학회논문지
22
1
페이지
213 ~ 215