상세 보기
Exact locating of sub-surface microelectronic structures using scanning thermal-wave microscopy
- 제목
- Exact locating of sub-surface microelectronic structures using scanning thermal-wave microscopy
- 저자
- KWON, Oh Myoung
- 발행일
- 2008-12-10
- 학회명
- SPIE Smart Materials, Nano+Micro-Smart Systems
- 개최지
- melbourne, austrailia
- 개최국가
- 오스트레일리아
- 학회 개최일
- 2008-12-09 ~ 2008-12-12