패턴화된 사파이어 기판 위에 감광액과 AlN층을 이용한 공기 공극 구조 형성에 대한 연구

패턴화된 사파이어 기판 위에 감광액과 AlN층을 이용한 공기 공극 구조 형성에 대한 연구
제목
패턴화된 사파이어 기판 위에 감광액과 AlN층을 이용한 공기 공극 구조 형성에 대한 연구
제목 (타언어)
패턴화된 사파이어 기판 위에 감광액과 AlN층을 이용한 공기 공극 구조 형성에 대한 연구
저자
BYUN, Dong Jin
발행일
2018-05-18
학회명
2018년도 한국재료학회 춘계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2018-05-16 ~ 2018-05-18