Needle-type field emitter를 만들기 위한 실리콘 비등방성 식각에 관한 연구

제목
Needle-type field emitter를 만들기 위한 실리콘 비등방성 식각에 관한 연구
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
제2회 한국 반도체 학술대회
학회 개최일
1995-01-10 ~ 1995-01-10