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다양한 이온 주입에 의해 전처리한 사파이어(0001) 기판에 성장시킨 GaN 에피층의 열처리 효과

제목
다양한 이온 주입에 의해 전처리한 사파이어(0001) 기판에 성장시킨 GaN 에피층의 열처리 효과
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2004년도 한국재료학회 추계학술발표대회
개최지
인하대학교
학회 개최일
2004-11-05 ~ 2004-11-05

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