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AlN 압전체를 이용한 suspended 압전박막공진기의 제조

제목
AlN 압전체를 이용한 suspended 압전박막공진기의 제조
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
센서학회 종합학술대회
학회 개최일
2000-11-17 ~ 2000-11-18

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