Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상

N/A
제목
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상
제목 (타언어)
N/A
저자
Song, Yongnam
발행일
2022-05-12
학회명
한국정밀공학회 2022년도 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2022-05-11 ~ 2022-05-13