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Metylsilsesquioxane 반도체 저유전 층간 절연막 재료의 졸-겔 합성

  • HONG, Suk In
제목
Metylsilsesquioxane 반도체 저유전 층간 절연막 재료의 졸-겔 합성
저자
HONG, Suk In
학회명
화학공학의 이론과 응용
개최지
화학공학의 이론과 응용
학회 개최일
2000-04-24

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