수소 Passivation에 따른 실리콘 나노결정 박막의 광학적 특성변화 연구

  • Lee Sang Ryeol
제목
수소 Passivation에 따른 실리콘 나노결정 박막의 광학적 특성변화 연구
저자
Lee Sang Ryeol
발행일
2001-07-01
학회명
한국전기전자재료학회