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실리콘 직접 접합에 있어서 KOH-식각된 접합계면의 모양과 계면산화막의 상태간의 관계

제목
실리콘 직접 접합에 있어서 KOH-식각된 접합계면의 모양과 계면산화막의 상태간의 관계
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
전자공학회 하계종합학술대회
학회 개최일
1994-01-10 ~ 1994-01-10

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