PLD를 이용한 ZnO 박막의 구조에 산소 분압 및 후열처리 온도가 미치는 영향

Effect of Oxygen Partial Pressure and Post-Annealing Temperature on Structure of ZnO Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition
  • Moon Byung-Moo
제목
PLD를 이용한 ZnO 박막의 구조에 산소 분압 및 후열처리 온도가 미치는 영향
제목 (타언어)
Effect of Oxygen Partial Pressure and Post-Annealing Temperature on Structure of ZnO Thin Film Prepared by Pulsed Laser Deposition
저자
Moon Byung-Moo
학회명
2007년도 대한전기학회 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2007-11-02 ~ 2007-11-03