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이온주입된 Si(111)에 AlN 완충층을 이용하여 서장시킨 GaN박막의 특성

제목
이온주입된 Si(111)에 AlN 완충층을 이용하여 서장시킨 GaN박막의 특성
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2003년도 한국재료학회 추계 학술발표대회연 및 논문개요집
학회 개최일
2003-09-01 ~ 2003-09-02

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