Patterning of TiN/CrN bilayer structure using electron beam lithography for GaN rods SAG

Patterning of TiN/CrN bilayer structure using electron beam lithography for GaN rods SAG
제목
Patterning of TiN/CrN bilayer structure using electron beam lithography for GaN rods SAG
제목 (타언어)
Patterning of TiN/CrN bilayer structure using electron beam lithography for GaN rods SAG
저자
BYUN, Dong Jin
발행일
2024-11-14
학회명
2024년도 한국재료학회 추계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2024-11-13 ~ 2024-11-15