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Patterning of TiN/CrN bilayer structure using electron beam lithography for GaN rods SAG
Patterning of TiN/CrN bilayer structure using electron beam lithography for GaN rods SAG
- 제목
- Patterning of TiN/CrN bilayer structure using electron beam lithography for GaN rods SAG
- 제목 (타언어)
- Patterning of TiN/CrN bilayer structure using electron beam lithography for GaN rods SAG
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2024-11-14
- 학회명
- 2024년도 한국재료학회 추계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2024-11-13 ~ 2024-11-15