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PLD 공정에 의한 Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 박막의 유전 및 전기적 특성 연구

  • Lee Sang Ryeol
제목
PLD 공정에 의한 Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 박막의 유전 및 전기적 특성 연구
저자
Lee Sang Ryeol
발행일
2003-02-01
학회명
반도체산업협회

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