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PMMA bottlebrush polymer for electron beam lithography
PMMA bottlebrush polymer for electron beam lithography
- 제목
- PMMA bottlebrush polymer for electron beam lithography
- 제목 (타언어)
- PMMA bottlebrush polymer for electron beam lithography
- 저자
- Seungwoo Lee
- 발행일
- 2023-11-20
- 학회명
- Korean International Semiconductor Conference on Manufacturing Technology 2023 (KISM 2023)
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2023-11-19 ~ 2023-11-23