PMMA bottlebrush polymer for electron beam lithography

PMMA bottlebrush polymer for electron beam lithography
제목
PMMA bottlebrush polymer for electron beam lithography
제목 (타언어)
PMMA bottlebrush polymer for electron beam lithography
저자
Seungwoo Lee
발행일
2023-11-20
학회명
Korean International Semiconductor Conference on Manufacturing Technology 2023 (KISM 2023)
개최국가
대한민국
학회 개최일
2023-11-19 ~ 2023-11-23