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질화규소의 erosion 거동에 미치는 Si2N2O 상의 효과

  • Lim, Dae-Soon
제목
질화규소의 erosion 거동에 미치는 Si2N2O 상의 효과
저자
Lim, Dae-Soon
학회명
한국세라믹학회 추계학술대회지
개최지
한국세라믹학회 추계학술대회지
학회 개최일
2001-10-19

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