수소첨가에 따른 육방정 질화붕소 박막의 표면형상과 장류응력 감소에 관한 연구

  • Lim, Dae-Soon
제목
수소첨가에 따른 육방정 질화붕소 박막의 표면형상과 장류응력 감소에 관한 연구
저자
Lim, Dae-Soon
학회명
한국 재료학회