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톱니형 comb finger를 이용한 comb actuator의 side stability 향상에 관한 연구

  • Pak, James Jungho
제목
톱니형 comb finger를 이용한 comb actuator의 side stability 향상에 관한 연구
저자
Pak, James Jungho
학회명
제 6회 한국 MEMS 학술대회
개최지
제주 KAL 호텔
학회 개최일
2004-04-08 ~ 2004-04-10

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