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마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작

KWON, Oh Myoung

제목: 마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작

저자: KWON, Oh Myoung

발행일: 2009-05-29

학회명: 2009년도 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회

개최지: 서울대학교

개최국가: 대한민국

학회 개최일: 2009-05-28 ~ 2009-05-29