Analysis and Design of Thermal Double-Cantilever Bimorph Actuators for Rotating-Type Micromirrors

제목
Analysis and Design of Thermal Double-Cantilever Bimorph Actuators for Rotating-Type Micromirrors
저자
KWON, Oh Myoung
학회명
2006년도 대한기계학회 춘계학술대회
개최지
제주도 서귀포(제주국제컨벤션센터)
학회 개최일
2006-06-07 ~ 2006-06-09