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두께 및 상에 따른 Ge2Sb2Te5 박막의 열전도도 변화 및 Ge2Sb2Te5 - TiN박막간 계면열저항 계측
Thickness and phase dependence of the thermal conductivity of Ge2Sb2Te5 and the thermal boundary resistance between Ge2Sb2Te5 and TiN
- 제목
- 두께 및 상에 따른 Ge2Sb2Te5 박막의 열전도도 변화 및 Ge2Sb2Te5 - TiN박막간 계면열저항 계측
- 제목 (타언어)
- Thickness and phase dependence of the thermal conductivity of Ge2Sb2Te5 and the thermal boundary resistance between Ge2Sb2Te5 and TiN
- 저자
- KWON, Oh Myoung
- 발행일
- 2009-11-06
- 학회명
- 대한 기계학회 추계학술대회
- 개최지
- 강원도 용평 리조트
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2009-11-04 ~ 2009-11-06