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표면장력을 이용하여 정량 제어가 가능한 무밸브형 열공압 마이크로 펌프

  • Pak, James Jungho
제목
표면장력을 이용하여 정량 제어가 가능한 무밸브형 열공압 마이크로 펌프
저자
Pak, James Jungho
학회명
제 8회 한국 MEMS 학술대회
학회 개최일
2006-04-06 ~ 2006-04-08

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