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MOCVD를 이용한 Patterned Si기판의 질소이온 주입에 따른 GaN 성장특성

제목
MOCVD를 이용한 Patterned Si기판의 질소이온 주입에 따른 GaN 성장특성
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2009 LED.반도체조명학회 가을 학술대회사단법인
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-10-15 ~ 2009-10-16

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